产品特点

> 本设备为VCSEL/PD等芯片自动检测设备，可同时检测芯片上下两个面。

 > 最大可检测芯片范围为扩膜之后8英寸范围。

> 可兼容多种芯片的检测，对不同种类的芯片可规划检测区域和以及增减检测项目。 > 载台可自动旋转角度将晶圆摆正。

> 检测规格编辑器支持检测规格的编辑和修改。 > 同一圆片多次检测的重复检出率高于99%。

> 可 Load 前道数据，进行合档。